MWR-2S-3I是一款功能异常强大的无接触少子寿命及红外探伤综合测试仪，能够对单晶硅棒、多晶硅块及硅片提供快速、无接触、无损伤、高分辨率的多功能扫描测试。一方面，其通过微波光电衰退特性原理来测量非平衡载流子寿命的；另一方面，通过近红外对硅材料的光学特性，探测缺陷。并且单晶硅棒、多晶硅块无须进行特殊处理。此设备是太阳能电池硅片企业、多晶铸锭企业、拉晶企业不可多得的测量仪器。

产品特点
■ 系统功能强大，少子寿命及缺陷同时测量
■ 无接触和无损伤测量
■ 自动测量，具有传送系统，可进行连续测量
■ 快速测量，测试扫描速度达到2000mm/min
■ 测试范围广：包括硅块、硅棒、硅片等
■ 应用于硅棒硅块、硅片的进厂、出厂检查，生产工艺过程中重金属沾污和缺陷的监控等
■ 性价比高，极大程度地降低了企业的测试成本
■ 可以在线实时对产品监控

推荐工作条件
■ 温度：18-26℃
■ 湿度：10%~80%
■ 大气压：750±30毫米汞柱

技术指标
■ 主机尺寸：63cm * 36cm *59cm
■ 测试尺寸:190mm*190mm*500mm
■ 测试扫描速度:2000mm/min
■ 电阻率范围：>0.5Ω.cm
■ 硅棒硅块扫描间距：≥1mm
■ 仪器测试精度：±3.5％，信号处理偏差≤2％
■ 少子寿命测试范围:0.1μs-30ms
■ 少子检测激光波长：975nm,测试功率范围：50-500mw
■ 红外波长：2300nm,测试功率范围：50mw
■ 红外探伤可分辨最小尺寸：0.1mm
■ 微波工作频率：10GHz±0.5
■ 微波测试单元功率：0.01W±10%
■ 电源：～220V  50Hz    功耗＜160W
■ 主机重量：32KG
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